干式螺桿真空泵的五種分類
干式螺桿真空泵由泵體、泵蓋、圓盤、機械密封、葉輪、電動機等零部件組成。干式螺桿真空泵主要可以分為以下5類：
1、雙圓裂片式：
雙圓裂片式設計和目前流行和廣泛應用的羅茨泵非常類似。事實上，一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來的。這種多級設計使得氣體通路非常復雜，并且每一級都需要很大流量的氮氣才能起到稀釋和隔離作用。同時，為了可以實現(xiàn)更好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格要求。當然，干式螺桿真空泵這種設計正是因為增加了內部壓縮比而使其耗電量相對比較低。
2、三葉圓裂片式：
三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理是相同的，它只是在旋轉一圈中將氣體分為三份，雙圓裂片式設計是分為兩份的。三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計有著相同的優(yōu)缺點。為了進一步降低耗電量，有的廠家在傳動部分選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動能力下降。同雙圓裂片式設計相同，三葉圓裂片式設計的每一級都需要更大流量的氮氣才可以起到稀釋和隔離作用。
3、組合式（羅茨+爪）：
組合式（羅茨+爪）設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路和圓裂片式設計完全一樣。也有廠家將其后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就好比三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝當中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣才可以起到稀釋和隔離作用。
4、外部壓縮型螺桿式：
在外部壓縮型螺桿式的設計中，使用一對等距的螺桿。這使得內部壓縮可以減到更小，同時使得氣體通路較短也更加簡單。這樣，氣體在泵體內停留時間也是比較短的。雖然這種設計是因為減少了內部壓縮比，而使得其耗電量相對比較高，但在很多復雜半導體工藝中表現(xiàn)出非常高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得其對氮氣用量要求也非常小而且比較簡單的，這樣就使得其在不同工藝中有非常好的互換性。在很多工藝中甚至可以不需要氮氣。
5、內部壓縮型螺桿式：
除了使用一對非等距螺桿以外，外部壓縮型螺桿式設計和內部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常類似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵相同，更容易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或者液化現(xiàn)象。
雖然干式螺桿真空泵的種類越來越多，但是通常的機械真空泵如爪式泵，其抽速難以做大，而且制造難度也大，成本高；另外還有利用多葉級數(shù)進行串連的羅茨泵，其缺點與爪式泵相仿。
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